面发射激光器制造技术

本发明专利技术提供在输送面发射激光器时，不会以倾斜的状态吸附于夹头的面发射激光器。面发射激光器具有基板(20)和基板(20)上的半导体层(21)，在利用俯视观察时通过基板(20)的中心(20a)的第一方向的直线(L1)和与第一方向正交的通过基板(20)的中心(20a)的第二方向的直线(L2)将基板(20)分为第一区域(111a)、第二区域(111b)、第三区域(111c)和第四区域(111d)的情况下，在第一区域(111a)设置有第一电极焊盘(43)，在第二区域(111b)设置有第二电极焊盘(53)，在第三区域(111c)设置有第一虚设焊盘(161)，在第四区域(111d)设置有第二虚设焊盘(162)。

【技术实现步骤摘要】
面发射激光器
本专利技术涉及面发射激光器。
技术介绍
被称为面发射激光器的垂直腔面发射激光器(VCSEL：VerticalCavitySurfaceEmittingLaser：垂直腔面发射激光器)是在半导体基板上具有2个反射镜层和被反射镜层夹着的有源层并相对于半导体基板的基板面沿垂直方向射出光的激光器。在面发射激光器中，在有源层及反射镜层等形成台面，将台面的反射镜层的一部分选择性氧化而形成氧化层，由此形成电流限制构造(专利文献1等)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2019-33210号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题如上所述的面发射激光器通过对半导体基板的表面进行加工而制作，但由于在表面形成台面、电极焊盘，因此在面发射激光器的芯片的上表面具有凹凸。在这样的面发射激光器的芯片中，若上表面的高度存在偏差，则在输送面发射激光器的芯片时，会以倾斜的状态吸附于夹头，因此有时会损伤射出激光的部分或者无法正常地输送。因此，要求在输送面发射激光器时，不会以倾斜的状态吸附于夹头的面发射激光器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种面发射激光器，具有：/n基板；/n半导体层，该半导体层在所述基板上依次层叠有下部接触层、下部反射镜层、有源层、上部反射镜层和上部接触层；/n光出射窗，从所述半导体层射出激光；/n第一电极焊盘，与所述上部接触层连接；/n第二电极焊盘，与所述下部接触层连接；/n第一虚设焊盘；及/n第二虚设焊盘，/n所述第一电极焊盘、所述第二电极焊盘、所述第一虚设焊盘和所述第二虚设焊盘设置在与所述光出射窗不同的区域的所述半导体层上，/n在利用俯视观察时通过所述基板的中心的第一方向的直线和与所述第一方向正交的通过所述基板的中心的第二方向的直线将所述基板分为第一区域、第二区域、第三区域和第四区域的情况下，/n在...

【技术特征摘要】
20190628 JP 2019-1220501.一种面发射激光器，具有：
基板；
半导体层，该半导体层在所述基板上依次层叠有下部接触层、下部反射镜层、有源层、上部反射镜层和上部接触层；
光出射窗，从所述半导体层射出激光；
第一电极焊盘，与所述上部接触层连接；
第二电极焊盘，与所述下部接触层连接；
第一虚设焊盘；及
第二虚设焊盘，
所述第一电极焊盘、所述第二电极焊盘、所述第一虚设焊盘和所述第二虚设焊盘设置在与所述光出射窗不同的区域的所述半导体层上，
在利用俯视观察时通过所述基板的中心的第一方向的直线和与所述第一方向正交的通过所述基板的中心的第二方向的直线将所述基板分为第一区域、第二区域、第三区域和第四区域的情况下，
在所述第一区域设置有所述第一电极焊盘，
在所述第二区域设置有所述第二电极焊盘，
在所述第三区域设置有所述第一虚设焊盘，
在所述第四区域设置有所述第二虚设焊盘。


2.一种面发射激光器，具有：
基板；
半导体层，该半导体层在所述基板上依次层叠有下部接触层、下部反射镜层、有源层、上部反射镜层和...

【专利技术属性】
技术研发人员：森奈津美，吉永弘幸，
申请(专利权)人：住友电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP