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本发明提供一种透射电子显微镜样品及其制备方法，通过提取半导体器件的部分至样品载体上，以形成初始样品，所述初始样品中靠近所述样品载体的部分在第一方向上的宽度与远离所述样品载体的部分在第一方向上的宽度相同；对所述初始样品进行减薄处理，以形成观测...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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