下载测试样品及其制备方法的技术资料

文档序号:26888909

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本发明实施例提供了一种测试样品及其制备方法,通过提供待检测试样;其中,所述待检测试样包括:第一介质层和覆盖所述第一介质层的第二介质层;所述第一介质层覆盖第一沟道的侧壁;将所述待检测试样中至少第一区域对应的部分所述第二介质层的材料替换为第一材...
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