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本申请公开了一种干燥装置、干燥方法、清洗干燥系统及清洗干燥方法。该干燥装置用于对通过刻蚀形成有深孔的晶圆进行干燥，包括：腔室，设置于对晶圆进行刻蚀的刻蚀腔体内；旋转吸盘，以吸附面朝下的方式倒置于腔室内，设置成能绕转轴旋转；电源，连接至旋转吸...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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