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本申请提供了一种薄膜制备装置、薄膜制备装置的控制方法与控制装置，该薄膜制备装置包括：壳体，具有反应腔体；支撑结构，位于反应腔体内；加热器，位于反应腔体内的支撑结构上；热辐射结构，位于反应腔体的底壁和加热器之间，热辐射结构在加热器上的投影位于...
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