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一种微机电系统装置及其制造方法，制造微机电系统装置的方法包括在基底层上形成压电薄膜及金属薄膜的堆叠，其中压电薄膜及金属薄膜交替配置。方法亦包括在压电薄膜及金属薄膜的堆叠中形成第一沟槽。方法进一步包括在第一沟槽的侧壁形成至少一个孔隙。此外，方...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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