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本实用新型提供一种半导体结构包括Si衬底、绝缘层、Cu柱及钝化层,由于Si衬底与绝缘层具有第一高度差D1,Cu柱与绝缘层具有第二高度差D2,且第一高度差D1大于第二高度差D2,从而可有效避免对器件的电性能造成影响,避免绝缘层内外侧Cu金属的...该专利属于中芯长电半导体(江阴)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯长电半导体(江阴)有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种半导体结构包括Si衬底、绝缘层、Cu柱及钝化层,由于Si衬底与绝缘层具有第一高度差D1,Cu柱与绝缘层具有第二高度差D2,且第一高度差D1大于第二高度差D2,从而可有效避免对器件的电性能造成影响,避免绝缘层内外侧Cu金属的...