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本发明涉及一种相变材料、相变存储单元及其制备方法。该相变材料的化学式为Ta...
该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。

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