下载半导体器件及其制造方法的技术资料

文档序号:26848014

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半导体器件包括衬底、绝缘结构和栅极堆叠件。该衬底具有至少一个半导体鳍。该绝缘结构设置在衬底之上并且与半导体鳍分隔开以在其间形成间隙。该绝缘结构具有面向半导体鳍的侧壁。该栅极堆叠件覆盖至少部分半导体鳍并且至少设置在绝缘结构和半导体鳍之间的间隙...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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