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一种5DOF光路控制磁悬浮驱动器制造技术
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下载一种5DOF光路控制磁悬浮驱动器的技术资料
文档序号:26837053
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一种5DOF光路控制磁悬浮驱动器,该驱动器包括上端盖1、浮子4、径向定子5、连接环6和下端盖7;浮子4位于径向定子5内,浮子4与径向定子之间留有气隙,径向定子5安装在连接环6内,上端盖1和下端盖7分布于连接环6两侧;本发明实施例提供的5DO...
该专利属于沈阳工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳工业大学授权不得商用。
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