一种5DOF光路控制磁悬浮驱动器制造技术

一种5DOF光路控制磁悬浮驱动器，该驱动器包括上端盖1、浮子4、径向定子5、连接环6和下端盖7；浮子4位于径向定子5内，浮子4与径向定子之间留有气隙，径向定子5安装在连接环6内，上端盖1和下端盖7分布于连接环6两侧；本发明专利技术实施例提供的5DOF光路控制磁悬浮驱动器能够实现五自由度的运动控制，且结构紧凑，具有高响应速度，高精度的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种5DOF光路控制磁悬浮驱动器
本专利技术涉及激光
，特别是涉及5DOF光路控制磁悬浮驱动器。
技术介绍
激光切割加工过程中，通过控制激光光路中的聚焦透镜位置，进而控制激光光束焦点相对于辅助气体中心轴线位置的离轴式激光切割加工方法。在相同加工条件下，可有效提高激光切割机的加工效率和切缝的加工质量。离轴式激光切割方法的加工过程中，需要实时控制激光束轴线与喷嘴中心在进给方向上保证特定关系。因此，需要一种能够实现高响应速度，高精度且易于控制的微型驱动器。采用传统的液压及机械结构，很难实现多自由度。传统结构会使激光头的体积增大，重量增加，导致激光切割头在移动过程中惯性大，响应慢，不能满足高速高精度加工的需求。
技术实现思路
专利技术目的：本专利技术提供一种5DOF光路控制磁悬浮驱动器，用以控制激光切割机中透镜的位置，以实现实时控制激光束轴线与喷嘴中心在进给方向上保证特定关系，其目的是解决以往所存在的问题。技术方案：一种5DOF光路控制磁悬浮驱动器，该驱动器包括上端盖1、浮子4、径向定子5、连接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种5DOF光路控制磁悬浮驱动器，其特征在于：该驱动器包括上端盖(1)、浮子(4)、径向定子(5)、连接环(6)和下端盖(7)；浮子(4)位于径向定子(5)内，浮子(4)与径向定子之间留有气隙，径向定子(5)安装在连接环(6)内，上端盖(1)和下端盖(7)分布于连接环(6)两侧；/n所述径向定子(5)上安装有径向线圈(10)，径向线圈(10)为至少四组的偶数的多个组，该多个组的径向线圈(10)均匀的环形阵列在径向定子(5)上，正对的两个线圈形成差动工作方式；/n所述浮子(4)外缘与径向线圈(10)对应的部分形成线圈对应部，其余部分为非对应部，浮子(4)的非对应部的上端面正对轴向上定子(9)...

【技术特征摘要】
1.一种5DOF光路控制磁悬浮驱动器，其特征在于：该驱动器包括上端盖(1)、浮子(4)、径向定子(5)、连接环(6)和下端盖(7)；浮子(4)位于径向定子(5)内，浮子(4)与径向定子之间留有气隙，径向定子(5)安装在连接环(6)内，上端盖(1)和下端盖(7)分布于连接环(6)两侧；
所述径向定子(5)上安装有径向线圈(10)，径向线圈(10)为至少四组的偶数的多个组，该多个组的径向线圈(10)均匀的环形阵列在径向定子(5)上，正对的两个线圈形成差动工作方式；
所述浮子(4)外缘与径向线圈(10)对应的部分形成线圈对应部，其余部分为非对应部，浮子(4)的非对应部的上端面正对轴向上定子(9)，浮子(4)的非对应部的下端面正对轴向下定子(12)；
上端盖(1)、浮子(4)、径向定子(5)、连接环(6)和下端盖(7)为同轴安装。


2.根据权利要求1所述的一种5DOF光路控制磁悬浮驱动器，其特征在于：
所述浮子(4)具有不同直径的内扇环(4-1)和外扇环(4-2)，内扇环(4-1)的外缘弧面与径向线圈(10)对应作为线圈对应部，外扇环(4-2)作为非对应部，外扇环(4-2)上端面正对轴向上定子(9)，外扇环(4-2)的下端面正对轴向下定子(12)。


3.根据权利要求1或2所述的一种5DOF光路控制磁悬浮驱动器，其特征在于：所述浮子上还具有减轻浮子质量的弧形槽(4-3)。


4.根据权利要求1所述的一种5DOF光路控制磁悬浮驱动器，其特征在于：
所述连接环(6)上...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙凤，赵川，金俊杰，徐方超，李强，王韬宇，
申请(专利权)人：沈阳工业大学，
类型：发明
国别省市：辽宁;21