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本实用新型提供一种用于等离子室的边缘环，所述边缘环被配置为沿衬底支撑件的外围放置。所述边缘环的顶部包括：内部台阶区域；倾斜区域；外部弯曲区域；具有顶部环形表面的中间顶部区域。所述中间顶部区域在所述外部弯曲区域和所述倾斜区域之间延伸。所述倾斜...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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