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公开一种具有特殊的掺杂剂分布的光波导，所述掺杂剂分布能够减小光波导的变形并且减小其中存在的残留应力，从而避免双折射。还公开一种制造光波导的方法。该光波导包括：基片；用掺杂剂掺杂的下包层，该掺杂剂的含量在下包层的厚度方向上连续地变化，使得下包...
该专利属于三星电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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