下载一种复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器的技术资料

文档序号:26808052

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本实用新型公开了一种复合结构的高灵敏度声表面波紫外传感器,传感器结构从下至上依次为:压电衬底;电极层(叉指换能器和反射栅),ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构敏感层。相比于传统声表面波紫外传感器,复合结构的高灵敏度声表面波紫外传感器由于Zn...
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