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一种复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器制造技术
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文档序号:26808052
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本实用新型公开了一种复合结构的高灵敏度声表面波紫外传感器,传感器结构从下至上依次为:压电衬底;电极层(叉指换能器和反射栅),ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构敏感层。相比于传统声表面波紫外传感器,复合结构的高灵敏度声表面波紫外传感器由于Zn...
该专利属于湖南大学所有,仅供学习研究参考,未经过湖南大学授权不得商用。
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