一种复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种复合结构的高灵敏度声表面波紫外传感器，传感器结构从下至上依次为：压电衬底；电极层(叉指换能器和反射栅)，ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构敏感层。相比于传统声表面波紫外传感器，复合结构的高灵敏度声表面波紫外传感器由于ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构在受到紫外辐射时电导率变化更大，使得声表面波的电声耦合作用增强，频率偏移增大，提高声表面波灵敏度。所述叉指换能器的波长为50nm～400μm，金属化率为0.1～0.9。本实用新型专利技术的有益效果如下：超高灵敏、易于检测以及工艺简单。

【技术实现步骤摘要】
一种复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器
本技术涉及声学技术中声表面波传感器，尤其涉及一种复合结构的高灵敏度声表面波紫外传感器。
技术介绍
紫外传感器在人体护肤、军事导弹预警、海上破雾引航、野外火灾遥感及生化检测等方面具有广泛的应用前景。基于声表面波技术(surfaceacousticwave,SAW)的紫外传感器由于响应速度快、灵敏度高、抗干扰能力强、制作简单、具有可重复性、可实现无线无源等众多优势，成为近年来紫外探测领域的的热点。SAW紫外传感器是属于光—声—电三种物理场相互耦合的一种器件，当紫外光照射时，SAW谐振频率或相位等发生改变，通过探测频率、相位偏移可以反推紫外光大小。传统的SAW紫外传感器灵敏度偏低，为此很多研究者会在声波传播区域沉积一层高灵敏度氧化锌(ZnO)紫外敏感膜(如ZnO纳米棒、纳米线、纳米花等)来增加SAW紫外灵敏度，但未见采用ZnO/石墨烯(garphene)量子点来提高SAW灵敏度。2014年叶小亮报道了ZnO/Graphene纳米复合材料相较于纯粹ZnO纳米线可以提高紫外吸收效率，但并没有制备本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器，其特征在于，包括压电衬底(1)，压电衬底(1)上覆盖有电极层，电极层包括叉指换能器(2)，叉指换能器(2)外侧安装有反射栅(3)，叉指换能器(2)上覆盖有ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构敏感层(4)。/n

【技术特征摘要】
1.一种复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器，其特征在于，包括压电衬底(1)，压电衬底(1)上覆盖有电极层，电极层包括叉指换能器(2)，叉指换能器(2)外侧安装有反射栅(3)，叉指换能器(2)上覆盖有ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构敏感层(4)。


2.如权利要求1所述的复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器，其特征在于，所述叉指换能器(2)为两个，两个叉指换能器(2)处于压电衬底(1)中部相对设置，一个ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构敏感层(4)覆盖在两个叉指换能器(2)上。


3.如权利要求1所述的复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器，其特征在于，所述压电衬底...

【专利技术属性】
技术研发人员：周剑，殷长帅，颜凌波，段辉高，尹小波，陈哲，
申请(专利权)人：湖南大学，
类型：新型
国别省市：湖南;43