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本发明提供了一种用于制造微镜致动器的方法，所述方法能够通过层叠膜形的有机层简化对微镜进的行平面化处理。所述方法包括通过刻蚀在衬底上形成沟槽，在衬底上叠加一层膜形有机层，从而盖住但是不填充沟槽，使得沟槽保持是空的，并在膜形有机层上淀积并成形一...
该专利属于三星电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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