用于制造微型结构的方法技术

本发明专利技术提供了一种用于制造微镜致动器的方法，所述方法能够通过层叠膜形的有机层简化对微镜进的行平面化处理。所述方法包括通过刻蚀在衬底上形成沟槽，在衬底上叠加一层膜形有机层，从而盖住但是不填充沟槽，使得沟槽保持是空的，并在膜形有机层上淀积并成形一个金属层，以及除去所述膜形有机层。按照本发明专利技术的制造方法，通过在包括沟槽的衬底上层叠膜形有机层使得微镜更容易地实现平面化，因而可以降低制造微镜致动器的成本。此外，通过增加微镜的平面度，可以增加微镜的反射率，因而提高光传输效率。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于制造微镜致动器的方法，包括： 利用刻蚀在衬底上形成沟槽； 在衬底上叠加一层膜形有机层，以盖住但是不填充所述沟槽，使得所述沟槽保持是空的；以及 在膜形有机层上淀积并构图一个金属层，并除去所述膜形有机层。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：尹容燮，崔鎣，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]