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公开了多孔区域结构及其制造方法。多孔区域结构的特征在于使具有不均匀的孔的硬掩模边界区域密封，由此从该结构排除功能。硬掩模边界区域的密封通过使用在用于限定结构的多孔区域的阳极氧化硬掩模的顶部上沉积的硬掩模来完成。通过排除硬掩模边界区域，可以以...该专利属于株式会社村田制作所;原子能与替代能源委员会所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社村田制作所;原子能与替代能源委员会授权不得商用。