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一种功能器件及其制造方法。制备一驱动器电路衬底，将反射镜衬底设置在驱动器电路衬底之上。九个反射镜元件以３×３矩阵的形式被安置在反射镜衬底上。反射镜元件是由微电子机械系统（ＭＥＭＳ）制备。在驱动器电路衬底上设置绝缘衬底，在绝缘衬底上设置驱动光...
该专利属于株式会社电装所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社电装授权不得商用。

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