【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种具有功能元件的功能器件，该功能元件执行输入信号转换、路径变更、波长及启动/禁止电连接等等之类的处理功能；这种功能器件的制造方法；和一种驱动器电路，特别是涉及一种通过微电子机械部分控制功能器件操作的功能器件。
技术介绍
在光学连接的网络系统，例如波分多路复用(WDM)型的光纤系统方面，日益增长着对切换光学路径技术，和从输入光中选择预定波长的光的技术。这种光学连接的网络系统，在网络的每个节上，利用光学开关从多波长的光中有选择地把预定波长的光分解出来，然后改变光的路径。将来需要传递的通信信息量，很可能会增加，要求设计多通道及大规模的光学器件，例如光学开关。由于被分类为光学器件的光学开关不用光电转换而改变光的路径，所以它有一些特征，如延迟时间减至可能的最小，不依赖于传递速度和可扩展性。至今已提出不少配置光学开关的转换方法，包括采用光纤机械运转的方法，基于法拉弟旋转的方法，和使用反射镜的方法。一种光学开关用的是反射镜，并采用反射镜微电子机械系统(MEMS)，采用驱动装置驱动反射镜，因为所述光学开关是用制造半导体集成电路的微制造技术制造的，所以它在降低成...
【技术保护点】
一种功能器件，其中包括： 多个功能元件，其中每一功能元件处理输入信号，并输出被处理过的信号； 驱动器电路衬底，其具有衬底和提供在所述衬底上的驱动器电路，其用于驱动所述功能元件；和 接合层，其具有由绝缘材料形成的绝缘层，所述接合层将所述功能元件接合至所述驱动器电路衬底；和形成在绝缘层中的连接端子，其用于将所述功能元件连接至所述驱动器电路。
【技术特征摘要】
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