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一种热电堆传感器的制作方法，包括：提供热电堆结构板和基板，热电堆结构板形成有热电堆结构；在热电堆结构板上形成第一互连层，第一互连层中至少形成有电连接热电堆结构的第一导电互连结构；在所述基板上形成支撑结构，所述支撑结构中形成有牺牲结构，所述支...
该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司授权不得商用。

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