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本发明实施例提供了一种热电堆传感器的制作方法，包括：提供热电堆结构板和电路基板，所述热电堆结构板包括热辐射感应区，所述热辐射感应区内形成有热电堆结构，所述电路基板包括热辐射隔离区；在所述电路基板上形成支撑结构，所述支撑结构中形成有自下而上纵...
该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司授权不得商用。

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