下载半导体器件和制造半导体器件的方法的技术资料

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提供一种半导体器件和一种制造半导体器件的方法,所述半导体器件包括半导体基底:包括限定有源区的沟槽;掩埋介电图案,位于沟槽中;氧化硅层,位于掩埋介电图案与沟槽的内壁之间;以及多晶硅层,位于氧化硅层与沟槽的内壁之间,其中,多晶硅层具有与半导体基...
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