下载无回滞效应硅控整流器型ESD保护结构及其实现方法的技术资料

文档序号:26795526

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本发明公开一种无回滞效应硅控整流器型ESD保护结构及其实现方法,该结构包括:半导体衬底(80);生成于半导体衬底的N阱(60)和P阱(70);高浓度P型掺杂(20)、高浓度N型掺杂(28)置于N阱(60)上部,高浓度N型掺杂(24)、高浓度...
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