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本发明提供一种静电吸盘和衬底固定装置，该静电吸盘包括：至少一个导体层；静电电极；以及基体，静电电极埋入在基体中，基体具有第一介电层，静电电极安装在第一介电层上，基体具有堆叠在第一介电层上并覆盖静电电极的第二介电层。导体层形成在第一介电层的与...
该专利属于新光电气工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过新光电气工业株式会社授权不得商用。

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