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本发明提供一种半导体外延设备中的基座组件，包括固定基座和支承件，支承件可转动地设置在固定基座上形成的旋转槽中，固定基座中形成有侧吹通路和底吹通路，侧吹通路在旋转槽的侧壁上形成有侧吹孔，底吹通路在旋转槽的底壁上形成有底吹孔；底吹通路用于向支承...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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