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周界沟槽形成和划界蚀刻去层。公开了用于样品制备的装置和方法，适用于多层样品的在线或离线使用。利用离子束技术来提供快速、准确的去层，并在一系列目标层上提供刻蚀停止。一方面，围绕感兴趣区域（ROI）铣削沟槽，并且在内侧壁上形成导电涂覆。由此，在...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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