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一方面，本发明提供了用于在大面积基片上形成光学器件的方法和装置。最好，大面积基片由石英、硅石或石英玻璃制成。大面积基片可以使更大的光学器件形成在单个模片上。另一方面，本发明提供了用于在大面积基片如石英基片、硅石基片和石英玻璃基片上形成集成光...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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