下载具有拥有梅花形状的沟道结构的三维存储器件的技术资料

文档序号:26772446

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公开了三维(3D)存储器件及其形成方法的实施例。在示例中,一种3D存储器件包括:衬底以及在衬底之上垂直地延伸并且在平面图中具有包括多个花瓣的梅花形状的沟道结构。该沟道结构包括分别在多个花瓣中的多个半导体沟道。...
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