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公开了用于检测和校正进入基板变形的方法和设备。将基板定位在第一工艺腔室中，在第一工艺腔室中检测基板弯曲的存在和类型。基于基板弯曲检测、以及基板是否具有压缩弯曲或拉伸弯曲的确定，来选择用于执行的基板处理程序。可在第一工艺腔室中或在第二工艺腔室...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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