下载超颖镜单元、半导体故障解析装置及半导体故障解析方法的技术资料

文档序号:26772212

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本公开关于一种包含具备可用以实现薄型化的构造的超颖镜的超颖镜单元等。该超颖镜单元具备超颖镜及超颖镜用保持部。超颖镜具备基部及第1天线部分。第1天线部分由具有第1折射率的多条第1天线、及具有第2折射率且位于多条第1天线之间的第1中间部构成。第...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

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