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立方体及其制造方法技术
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文档序号:2677114
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一种制造立方体的方法,包括步骤: 进行多层涂敷过程,以在一棱镜上形成多层涂层; 进行接触层涂敷过程,以在所述多层涂层顶部形成一接触层涂层;以及 将所述棱镜与一无涂层棱镜组合。...
该专利属于ASML控股股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML控股股份有限公司授权不得商用。
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