下载晶圆测试用旋转升降台的技术资料

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一种晶圆测试用旋转升降台,包括驱动机构、导向机构、转动机构、工作台,导向机构位于驱动机构上方,且导向机构通过丝杠组与驱动机构连接,驱动机构通过丝杠组带动导向机构沿主导向轴与副导向轴上下运动;工作台位于导向机构上方,工作台随着导向机构上下运动...
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