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本发明提出一种半导体设备及报警方法，包括：腔体；载台，位于所述腔体内的底部；光源，位于所述腔体内的顶部；挡板，位于所述腔体的侧壁；信号采集器，位于所述挡板的一侧，用于形成脉冲信号；信号接收器，位于所述腔体的外侧，与所述信号采集器连接，用于接...
该专利属于晶芯成(北京)科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晶芯成(北京)科技有限公司授权不得商用。

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