一种半导体设备及其报警方法技术

本发明专利技术提出一种半导体设备及报警方法，包括：腔体；载台，位于所述腔体内的底部；光源，位于所述腔体内的顶部；挡板，位于所述腔体的侧壁；信号采集器，位于所述挡板的一侧，用于形成脉冲信号；信号接收器，位于所述腔体的外侧，与所述信号采集器连接，用于接收所述脉冲信号；报警器，位于所述腔体的外侧，与所述信号接收器连接。本发明专利技术提出的半导体设备可以避免晶圆长时间停留在腔体内时，避免晶圆表面的温度升高，同时还可以避免晶圆表面的光阻图形出现异常；本发明专利技术提出的半导体设备还可以起到自动报警的作用，同时还可以计算出生产晶圆的数量。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体设备及其报警方法
本专利技术涉及半导体
，特别涉及一种半导体设备及其报警方法。
技术介绍
晶圆是半导体行业最重要的材料之一，通过在晶圆上形成各种电路元器件结构，即可形成特定电性功能的产品。当制造厂商制造晶圆之后，会应客户要求对晶圆进行处理，例如对晶圆进行去静电处理或者进行光阻固化处理，但是当晶圆在腔体内受到长时间的照射，且没有任何提示时，使得晶圆的温度升高，导致晶圆的质量下降，进而芯片的良率。
技术实现思路
鉴于上述现有技术的缺陷，本专利技术提出一种半导体设备及其报警方法，该半导体设备可以对晶圆的传送过程进行监控，起到监控报警的作用，防止晶圆的质量受到影响。为实现上述目的及其他目的，本专利技术提出一种半导体设备，包括；腔体；载台，位于所述腔体内的底部；光源，位于所述腔体内的顶部；挡板，位于所述腔体的侧壁；信号采集器，位于所述挡板的一侧，用于形成脉冲信号；信号接收器，位于所述腔体的外侧，与所述信号采集器连接，用于接收所述脉冲信号；>报警器，位于所述腔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体设备，其特征在于，包括；/n腔体；/n载台，位于所述腔体内的底部；/n光源，位于所述腔体内的顶部；/n挡板，位于所述腔体的侧壁；/n信号采集器，位于所述挡板的一侧，用于形成脉冲信号；/n信号接收器，位于所述腔体的外侧，与所述信号采集器连接，用于接收所述脉冲信号；/n报警器，位于所述腔体的外侧，与所述信号接收器连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体设备，其特征在于，包括；
腔体；
载台，位于所述腔体内的底部；
光源，位于所述腔体内的顶部；
挡板，位于所述腔体的侧壁；
信号采集器，位于所述挡板的一侧，用于形成脉冲信号；
信号接收器，位于所述腔体的外侧，与所述信号采集器连接，用于接收所述脉冲信号；
报警器，位于所述腔体的外侧，与所述信号接收器连接。


2.一种根据权利要求1所述的半导体设备的报警方法，其特征在于，包括：
将晶圆逐一传入半导体设备内，并通过信号采集器在每个所述晶圆传输时形成脉冲信号；
通过所述信号采集器将所述脉冲信号发送至信号接收器；
判断相邻两片所述晶圆的所述脉冲信号间隔的时间差是否在预设时间内；
若是，则报警器不进行报警；
若否，则报警器进行报警。


3.根据权利要求2所述半导体设备的报警方法，其特征在于，所述晶圆包括第一晶圆，中间晶圆和终点晶圆，所述中间晶圆包括第二晶圆至倒数第二晶圆之间的晶圆。


4.根据权利要求3所述半导体设备的报警方法，其特征在于，将所述第一晶圆传入所述腔体中时，所述信号采集器形成起始脉冲信号；所述起始脉冲信号包括起始第一脉冲信号和起始第二脉冲信号，形成所述起始第一脉冲信号的步骤包括：
打开所述半导体设备的挡板，所述信号采集器的亮度增加，形成所述起始第一脉冲信号的上升信号；
传输所述第一晶圆，所述第一晶圆遮挡住照射在所述信号采集器上方的光线，所述信号采集器的亮度降低，形成所述起始第一脉冲信号的下降信号。


5.根据权利要求4所述半导体设备的报警方法，其特征在于，形成所述起始第二脉冲信号的步骤包括：
在所述第一晶圆传输至所述腔体之后，所述信号采集器上方的光线未受遮挡，所述信号采集器的亮度增加，形成所述起始第二脉冲信号的上升信号；
关闭所述半导体设备的所述挡板，所述信号采集器的亮度降低，形成所述起始第二脉冲信号的下降信号。


6.根据权利要求3所述的半导体设备的报警方法，其特征在于，将所述中间晶圆传入所述腔体时，所述信号采集器形成中间脉冲信号；所述中间脉...

【专利技术属性】
技术研发人员：许时斌，牛振标，李昶材，
申请(专利权)人：晶芯成北京科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11