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本申请提供了一种光栅周期的测量装置。该装置中，级联光栅可以安装于光源上方，安装座可以位于级联光栅中相对的两侧边上，用于安装待测光栅。如此，光源发出的光线从级联光栅的底面射入，并从级联光栅的顶面射出，再从待测光栅的底面射入，并从待测光栅的顶面...
该专利属于南京南智先进光电集成技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京南智先进光电集成技术研究院有限公司授权不得商用。

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