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一种用于实现光波导材料制备的方法，其特征在于，包括如下保证：　　　　（１）在硅衬底上用阳极氧化方法生成一层多孔硅；　　　　（２）在多孔硅层上用火焰水解法生成一层高掺杂的二氧化硅粉末；　　　　（３）对材料进行高温退火，退火后得到折射率渐变的平...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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