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本发明属于光探测技术领域，涉及一种自对准超导纳米线单光子探测器件及其封装方法。所述自对准超导纳米线单光子探测器件，包括：超导纳米线单光子探测芯片；芯片固定件，所述芯片固定件中设有封装孔；其中，所述超导纳米线单光子探测芯片安装在所述封装孔中，...
该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。

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