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提供一种含有保护遮罩的加热单元、炉管装置与其清洗方法。此加热单元包含加热元件与保护遮罩，且保护遮罩覆盖加热元件的顶表面。其中，保护遮罩包含多个保护件及多个结合件。保护件具有多个结合孔，且保护件的顶表面具有至少一贯穿开口。结合件是配置以透过结...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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