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一种用于处理衬底的装置包括：反应管、侧盖、加热器、第一气体供应器、第二气体供应器和控制器。反应管被配置为容纳衬底舟皿以处理衬底，在所述衬底舟皿中容纳多个衬底。侧盖被配置为容纳反应管。加热器衬在侧盖的内部。第一气体供应器设置于侧盖的上部，以第...该专利属于爱思开海力士有限公司;株式会社EUGENE科技所有，仅供学习研究参考，未经过爱思开海力士有限公司;株式会社EUGENE科技授权不得商用。