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本申请涉及一种用于化学气相沉积设备的气体喷淋头组件，其包括固定连接在穹顶的顶部盖板，顶部盖板靠近晶片的一侧固定设置有底部盖板，底部盖板远离顶部盖板的侧面设置有朝晶片延伸的电极板；顶部盖板开设有多个第一气孔，第一气孔的内缘朝向底部盖板延伸有第...
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