专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
三星电子株式会社
>
垂直半导体器件制造技术
>技术资料下载
下载垂直半导体器件的技术资料
文档序号:26732810
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供了垂直半导体器件。该垂直半导体器件包括:在衬底上的沟道,该沟道在实质上垂直于衬底的上表面的第一方向上延伸;第一数据存储结构,接触沟道的第一侧壁;在沟道的第二侧壁上的第二数据存储结构;以及在第二数据存储结构的表面上的栅极图案,其中栅...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。