下载垂直半导体器件的技术资料

文档序号:26732810

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本发明提供了垂直半导体器件。该垂直半导体器件包括:在衬底上的沟道,该沟道在实质上垂直于衬底的上表面的第一方向上延伸;第一数据存储结构,接触沟道的第一侧壁;在沟道的第二侧壁上的第二数据存储结构;以及在第二数据存储结构的表面上的栅极图案,其中栅...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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