下载采用双层结构的混合集成光路芯片的技术资料

文档序号:2671446

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本发明涉及集成光路芯片技术领域,特别是一种采用双层结构的混合集成光路芯片。该混合集成光路芯片中,将混合集成光路芯片分为器件层与光线路层,光在两层之间典型的光行进路线为:由光纤输入、行进至光线路层、行进至器件层通过独立器件、行进至光线路层、行...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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