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本申请涉及一种化学气相沉积设备晶圆举起箍组件，其包括升降环和带动升降环位移的升降件，升降环远离升降件的一侧推动有装载环，装载环远离升降环的一侧可拆卸连接有多个提升销；多个提升销远离装载环的一端贯穿有位置固定的加热器，加热器限定提升销的路径；...
该专利属于盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司授权不得商用。

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