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本发明的显微镜和试料观察方法，对于检查对象的半导体器件Ｓ，设置：图像取得部（１）、包含物镜（２０）的光学系统（２）、和可在包含从半导体器件（Ｓ）向物镜２０的光轴的插入位置与偏离光轴的待机位置之间移动的固态浸没透镜（ＳＩＬ３）。而且，以两种控...
该专利属于浜松光子学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

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