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空间电荷不敏感的电子枪设计制造技术
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文档序号:26695413
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本发明揭示具有特定内部宽度尺寸、扫掠电极或特定内部宽度尺寸与扫掠电极的组合的电子枪系统。所述内部宽度尺寸可小于在束限制孔径下游的通道中的次级电子的拉莫尔半径的值的两倍,且所述次级电子的拉莫尔时间可大于1ns。所述扫掠电极可在漂移区中产生电场...
该专利属于科磊股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过科磊股份有限公司授权不得商用。
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