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本发明提供了一种隔振系统(IS)，其包括承载有效载荷的活塞(402)、连接构件(410)、弹簧(404)和柔性构件(408)。弹簧被布置成沿一方向以正刚度支撑活塞。柔性构件被布置成经由连接构件沿所述方向以负刚度向活塞施加力。...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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