下载Micro LED芯片的制备方法的技术资料

文档序号:26692451

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本发明提供一种Micro LED芯片的制备方法,包括步骤:1)提供衬底,于衬底上形成图形化缓冲层,相邻的缓冲层之间具有间隙,间隙中覆盖有掩膜层;2)于图形化缓冲层上外延生长LED外延层,掩膜层上无法生长LED外延层而使相邻的LED外延层之间...
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