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包括垂直存储器的集成电路装置制造方法及图纸
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下载包括垂直存储器的集成电路装置的技术资料
文档序号:26692340
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提供了一种集成电路装置,所述集成电路装置包括多条字线、堆叠在多条字线上的串选择线结构以及在竖直方向上延伸穿过多条字线和串选择线结构的多个沟道结构。串选择线结构包括串选择弯折线,串选择弯折线包括在比多条字线的水平高的第一水平处沿水平方向延伸的...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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