下载三维存储器结构及其制备方法的技术资料

文档序号:26692337

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本发明提供一种三维存储器结构及其制备方法,包括提供一第一半导体衬底;栅极堆叠结构,具有沿第一方向依次设置的核心区和台阶区域,所述核心区域中形成有垂直沟道结构;若干共源线,沿所述第一方向延伸,所述共源线包括相互连接的源线主体部和源线凸出部,所...
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